Glavni parametri, ki vplivajo na brizganje
Jun 09, 2018| 1. Prag razprševanja
Minimalna energijska vrednost incidentnih ionov, potrebnih za izsuševanje ciljnih atomov, ni povezana z vrsto incidentnih ionov, ampak povezana s tarčo. Ko energijska vrednost presega mejno vrednost razprševanja, je razpršitveni izkoristek sorazmeren kvadratu ionske energije pred 150 ev, ko se energija ionov poveča in je razpršitveni izkoristek sorazmeren z ionsko energijo v območju od 150 ev na 1 kev. V razponu 1kev ~ 10kev se rahlo drobljenje spreminja. Ko se je energija znova povečala, je pršilni prerez pokazal trend upadanja. V nadaljevanju so razpršeni pragovi več kovin, bombardiranih z različnimi incidentnimi ioni.
| Metal | Ion Sputtering threshod / eV | Sublimacijska toplota / eV | |||
| Ne | Ar | Kr | Xe | ||
| Ti | 22 | 20 | 17 | 18 | 4.40 |
| Cr | 22 | 22 | 18 | 20 | 5.28 |
| Fe | 22 | 20 | 25 | 23 | 4.12 |
| Cu | 17 | 17 | 16 | 15 | 3.53 |
| Zr | 23 | 22 | 18 | 25 | 6.14 |
| Ag | 12 | 15 | 15 | 17 | 3.35 |
| Au | 20 | 20 | 20 | 18 | 3.20 |
2. Sputtering Donos
Sputterni izkoristek se nanaša na povprečno število atomov na pozitivni ion, ki se lahko oddajajo iz tarče, ko incidentni ioni bombardirajo tarčo. Vplivi vplivajo predvsem na naslednje vidike:
◆ Donosnost prsti kaže določeno periodičnost s spremembo atomske številke tarče. S povečanjem stopnje polnjenja elektronov d-lupine ciljnega atoma se raven pršenja poveča (približno se spreminja trend).
◆ Učinek incidentnih ionskih vrst na pršenje
Povratni donos občasno narašča z naraščajočim atomskim številom incidentov.
Pršilni prerez srebra, bakra in tantala, ki ustreza številnim incidentnima ionom 45 Kev.
◆ Učinek kota pojavljanja ionov na pršenje
Za iste ciljne in incidentne ione se raven pršenja povečuje, ko se naklonski kot ionja poveča. Ko se kot poveča na 70 ° ~ 80 °, je največja vrednost pršenja. Nadaljevati povečevanje kota incidence, pri čemer se pršilni prerez močno zmanjša, pršilni prerez pa je 0 pri 900 °.
◆ Učinek ciljne temperature na pršenje
Na splošno v temperaturnem območju, kjer se lahko izločanje iz brizganja šteje za tesno povezano s sublimacijsko energijo, se pri razprševanju skoraj ne spreminja s temperaturo. Če temperatura presega to območje, se hitrost brizganja hitro povečuje.
