Vzrok neenakosti magnetnega brizganega premaza

Ne glede na to, kakšen strošek za vakuumsko stroje, bo na določen faktor vplivala enotnost premazov.

Delovanje magnetronskega brizgalnega vakuumskega prevleka je, da elektrone bombardirajo ione argona, ki jih tvori plin argona, in nato bombardirajo cilj z ortogonalnim magnetnim poljem pod vakuumskim stanjem in tarčni ioni se odlagajo na površino obdelovanca za oblikovanje prevleke. Zato lahko sklepamo, da sta vakuumsko stanje, magnetno polje in argon trije vidiki, ki so povezani z enotnostjo debeline filma.

Stanje vakuuma nadzira sistem črpanja zraka. Vsako črpalno odprtino je treba istočasno aktivirati z dosledno trdnostjo, tako da je zagotovljena enotnost črpanja. Če črpanje ni enotno, tlak v vakuumski komori ne more biti enakomeren, saj ima tlak nekaj vpliva na gibanje ionov. Poleg tega je treba čas črpanja nadzorovati. Premajhna bo povzročila nezadosten vakuum, vendar je predolgo zapravljanje virov. Toda obstoj vakuumskih merilnikov je potreben.

Magnetno polje deluje ortogonalno, vendar je nemogoče, da je intenzivnost magnetnega polja 100% enotna. Na splošno, kjer je magnetno polje močno, bo debelina filma velika in obratno, zato debelina filma ne bo v neskladju.

Enotnost oskrbe s plinom argona vpliva tudi na enakomernost filmske plasti. Načelo je podobno stopnji vakuuma. Zaradi vstopa v plin iz argona se bo tlak v vakuumski komori ustrezno spremenil. Enotnost debeline filma lahko uravnavamo z enakomernim tlakom.

Čeprav vedno obstaja več dejavnikov, ki povzročajo neenakomernost filma, vendar je hitrost prenosa filma zelo visoka, če se opravi pravilno delovanje vakuumske prevleke.