Najboljše tehnike za odkrivanje puščanja za PVD prevleko

Bubble metoda odkrivanja

Za PVD preslojevalne posode ali naprave, ki se obdelujejo, je prednostna detekcija metoda obloge PVD obloge. Obdelava mehurčkov s prevleko PVD pomeni, da se preskušeni del napolni z določenim plinskim indikatorskim tlakom, nato pa preskusni del vstavite v tekočino. Plin bo vstopil v okoliško tekočino skozi odprtino za puščanje, da bi se oblikovali mehurčki. In kraj, kjer so mehurčki, je položaj puščanja luknje. Poleg tega se lahko stopnja puščanja luknje oceni glede na stopnjo tvorbe in velikost mehurčkov ter fizične lastnosti plina za indikacijo puščanja.

Odkrivanje metode odkrivanja

Način odkrivanja pokrova se nanaša na metodo, ki pokriva celotno napravo za prevleko PVD z etilensko plastično vrečko (pokrovom), nato pa vrečo napolni s helijem, to je, da je celoten vakuumski vsebnik potopljen v helij za odkrivanje puščanja. Po popolnem odstranjevanju plina naredite glavni ventil, grobi ventil in zapiralni ventil izklopite. In nato uporabite BA ionizacijski vakuumski merilnik za merjenje spremembe tlaka, da ugotovite, ali je puščanje.

PVD prevleka je vsota tlaka, ki je posledica puščanja plina in povečanja tlaka, ki ga povzroča razplinjevanje materiala, in končno je linearno povečanje sorazmerno s časom. Ko krivulja prevleke PVD kaže tako stanje, kot je opisano zgoraj, to pomeni, da naprava pušča. Kadar ni puščanja in samo odplakovanje materiala, mora biti krivina nasičena. Če pride do puščanja brez materiala, gre za ravno črto, ki je sorazmerna s časom na začetku.