Struktura vakuumskega merilnika upora (Pirani vakuumski merilnik)

Vakuumski merilnik upornosti, znan tudi kot merilnik Pirani, odraža spremembe tlaka, ki temeljijo na spremembah vroče žarilne upornosti. V glavnem ga sestavljajo merilna in merilna vezja. Merilno območje je od 104 do 10-1 Pa.

Struktura merilnika upora je prikazana na sliki 1. Valjasto spiralno vročo žico, navito z žico za odpornost na koeficient visoke temperature, je vgrajeno v ohišje regulatorja. Oba konca vroče žice vodita ven skozi merilno cev in priključita merilno cev. Merilna lupina je lahko iz kovine ali stekla. Kovinska lupina ima prednosti trajnosti, udobno odstranjevanje vročih filamentov itd. Pomanjkljivosti so slaba učinkovitost tesnjenja in visoka cena. V stekleni lupini so prednosti dobre tesnilne zmogljivosti in nizke cene, prikrajšanost pa je, da je zlahka poškodovana.

Temperaturni koeficient upornosti in upornost nekaterih uporovnih žic, ki jih žlebita žica, so prikazane v tabeli 4-1, med katerimi se pogosto uporabljajo volfram, platina in nikelj. Da bi zagotovili delovno stabilnost vroče žice, poleg čiščenja površine vroče žice včasih na površino vroče žice nanesemo tanko plast stekla, kremena ali tantala, da se izognemo oksidaciji ali kontaminaciji vroče žice, ko se uporablja pod visokim pritiskom. Vendar se domneva, da bo ta metoda povečala svojo toplotno vztrajnost.

Kovina: Volfram Platin Nickel Krom Iridij Molibden železov baker Silver

Temperatura odpornosti

Koeficient v 0 ℃ 4,82 3,9 6,0 2,5 2,5 4,7 4,71 6,0 4,3 4,29

(10 ^-3 · ℃ ^-1 )

Odpornost pri 0 ℃ 5.1 9.2-9.6 6.84 12.9 4.85 5.71 9.7 1.67 1.59

px10 ^-8 (Ω · m)

Tabela 4-1 Temperaturni koeficient upornosti in odpornost nekaterih kovin