Merilno območje ionizacijskega merilnika vakuuma z vročo katodo

Čeprav lahko merilno območje ionizacijskega vakuumskega merilnika z vročo katodo doseže 10-2~10-11mbar, ko je tlak previsok, bo razmerje med pretokom delcev in tlakom odstopalo od linearnega in težilo k nasičenju. Za razširitev merilnega območja se Piranini vakuumski merilnik običajno uporablja na začetni točki črpalke (v primeru previsokega tlaka).

Poleg tega je spodnja meja merjenja običajnih ionizacijskih merilnikov vakuuma z vročo katodo približno 10-6Pa reda velikosti: Ko je anoda z zasunom obstreljena z elektroni, nastanejo mehki rentgenski žarki in fotoelektronska emisija se pojavi, ko ion zbiralec sprejme ta žarek. Ker je foton, ki ga oddaja zbiralnik, enakovreden ionom, ki jih zbira, se v vezju zbiralnika ionov oblikuje od tlaka neodvisen fototok v ozadju, ki je pri merjenju predstavljen z odčitkom tlaka približno 10-6Pa. Da bi odpravili učinek fototoka v ozadju in razširili merilno mejo ionizacijskega vakuumskega merilnika z vročo katodo, ionizacijskega vakuumskega merilnika BA (merilna meja lahko doseže 10-8Pa), dušilnega vakuumskega merilnika (teoretično lahko doseže {{6} }Pa), modulirani vakuumski merilnik (10-10Pa), ločeni vakuumski merilnik (10-11Pa) itd.

Podjetje IKS PVD, stroj za dekorativne premaze, stroj za premazovanje orodij, stroj za premazovanje DLC, stroj za optično premazovanje, linija za vakuumsko nanašanje PVD, na voljo je projekt na ključ. Pišite nam zdaj, e-pošta: iks.pvd@foxmail.com