Okoljevarstveno zahtevo PVD prevleke opreme

Ker vakuumski premaz deluje pod pogoji vakuuma, mora oprema izpolnjevati okoljske zahteve vakuuma.

Navedeni industrijski standardi vakuumskih premazov (vključno s splošnimi tehničnimi specifikacijami vakuumskih premazov, opreme za vakuumsko ionsko nanašanje, opreme za premaz vakuumske brizgalke in opreme za premazovanje vakuumske izhlapevanja) vse jasno določajo zahteve za okolje. Le ustreza okoljskim zahtevam opreme za vakuumsko prevleko lahko proizvajajo dobre PVD premaze.

Zahteve za okolje vakuuma, ki na splošno vključujejo zahteve vakuumske opreme v okolju laboratorija (ali delavnice), kjer je vakuumska oprema, kot so temperatura in delci v zraku. Poleg zahteve po sestavnih delih ali površinah, izpostavljenih v vakuumu ali v stanju vakuuma. Ti dve vidiki sta tesno povezani. Kakovost okolice neposredno vpliva na normalno uporabo vakuumske opreme, vakuumska komora ali komore v komori pa je čista ali pa nima neposrednega vpliva na zmogljivost opreme. Če zrak vsebuje veliko vodne pare in prahu, v primeru, da vakuumska komora ni čista, ni primerna za črpanje zraka, ki lahko korodira kovino, reagira z vakuumskim oljem ali vsebuje prah. Vodna para je nekakšen kondenzacijski plin, ko se ekstrahira velika količina kondenziranega plina, kontaminacija črpalnega olja bo bolj resna. Posledično se bo končni vakuum črpalke zmanjšal in nato zmanjšal črpalno učinkovitost črpalke.

Prah v industrijskih okoljih se odlikuje s prahom, aerosolom in prahom. Prašek pomeni zbir praška ali trdnih delcev. Aerosol je materialni sistem, ki plava v zraku v obliki trdnih snovi ali tekočih molekul. Če je material trdna ali tekoča, se lahko kakršne koli delce kolektivno imenujejo prašni delci. Standard čistosti zraka določi velikost delcev prahu in nato prilagodi nivo čistega prostora.

Običajni pogoji opreme za vakuumsko prevleko, vključno z:

1. Temperatura okolice: 10 ~ 30 ℃

2. Relativna vlažnost ≤ 70%

3. Vhodna temperatura hladilne vode ni višja od 25 ℃

4. Hladilna voda je vodovodna voda ali primerljiva voda.

5. Napajalna napetost je 380V, trifazna je 50Hz ali 220V, enofazna frekvenca 50Hz (določena z zahtevami delovnih električnih naprav), območje napetosti je 342V ~ 399V ali 198V ~ 231V, območje frekvenčnega nihanja je 49 ~ 51Hz .

6. V priročniku za uporabo je potrebno navesti stisnjen zrak, tekoči dušik, tlak vroče in hladne vode, temperaturo in porabo opreme.

7. Okolje mora biti čisto in urejeno, zrak ne sme vsebovati prahu ali plina, ki lahko povzroči korozijo na površini električnih naprav in drugih kovinskih delov ali povzroči električno prevodnost kovinskih delov.

Poleg tega mora biti laboratorij ali delavnica, kjer se nahaja vakuumska oprema, čista s terazo ali leseno barvo. Da bi preprečili plin, ki ga mehanična črpalka izprazni zaradi onesnaženja laboratorijskega okolja, je treba izpušno cev (kovinska in gumijasta cev) namestiti na izpušno odprtino črpalke, da izpusti plin iz prostora.