Evaporacija z elektronskim žarkom

Izhlapevanje z elektronskim žarkom je uporaba segrevanja z elektronskim žarkom visoke hitrosti za uparjanje materiala in njegovo kondenzacijo v film na površini substrata. Gostota energije vira toplote elektronskega žarka lahko doseže 104-109w/cm2, kar lahko doseže več kot 3000 stopinj, in lahko izhlapi kovine z visokim tališčem ali dielektrične materiale, kot so volfram, molibden, germanij, SiO2, AL2O3, itd. Vir izhlapevanja za ogrevanje z elektronskim žarkom ima dve vrsti ravne elektronske pištole in elektronske pištole tipa e (obstajajo tudi krožni), se elektronski žarek oddaja iz vira, tuljava magnetnega polja pa se uporablja za fokusiranje in odklon elektronskega žarka, filmski material pa je bombardiran in segret. Njegove prednosti lahko izhlapi kateri koli material, ima visoko čistost filma, neposredno delovanje na površini materiala, visoko toplotno učinkovitost. Slabosti Struktura elektronske pištole je zapletena, visoka cena, odlaganje spojine je enostavno razgraditi, kemično razmerje neravnovesje.

Podjetje IKS PVD, stroj za dekorativne premaze, stroj za premazovanje orodij, stroj za premazovanje DLC, stroj za optično premazovanje, linija za vakuumsko nanašanje PVD, na voljo je projekt na ključ. Pišite nam zdaj, e-pošta: iks.pvd@foxmail.com