Skupna napaka pri snemanju filma Magnetron Sputtering

Film je siv in temen

1. Stopnja vakuuma je nižja od 0,67 Pa. Stopnjo vakuuma je treba povečati na 0,13-0,4 Pa.

2. Čistost argona je manjša od 99,9%. Plaese uporabljajo argon s čistostjo 99,99%.

3. Napihljiv sistem pušča. Sistem inflacije je treba preveriti, da se odpravijo uhajanja.

4. Primer ni popolnoma utrjen. Čas sušenja praška je treba ustrezno podaljšati.

5. Količina plina, ki se sprosti iz prevlečenega dela, je prevelika. Posodo je treba posušiti in zapečatiti

Dim in dolgočasno površino

1. Čas kopičenja je predolg. Čas je treba ustrezno skrajšati.

2. Hitrost brizganja in oblikovanja filma je prehitro. Prosimo, ustrezno zmanjšajte napetost napajanja ali napetost.

Neenakomerna barva premaza

1. Film je preveč tanek. Povečajte hitrost brizganja ali čas kopičenja.

2. Nerazredna zasnova armatur. Izboljšati je treba zasnovo pritrdilnih elementov.

3. Geometrija substrata je preveč zapletena. Prosimo, ustrezno povečajte vrtilno hitrost substrata.

Film ima gube ali razpoke

1. Hitrost izhlapevanja je prehitro. Treba ga je ustrezno upočasniti.

2. Film je preveč debel. Čas razprševanja je treba ustrezno skrajšati.

3. Temperatura substrata je previsoka. Skrajšajte čas segrevanja substrata.

Površina plasti ima vodne oznake, prstne odtise in delce saj

1. Substrat po čiščenju ni dovolj posušen. Okrepiti je treba predhodno obdelavo.

2. Površina substrata je pljuskana z vodo ali s slino. Operaterji morajo nositi maske.

Slaba oprijemljivost

1. Slabo razmaščevanje delov za galvaniziranje. Okrepiti je treba predhodno obdelavo.

2. Vakuumska komora ni čista. Vakuumsko komoro je treba očistiti. Upoštevajte, da je med postopkom nakladanja in razkladanja ciljev strogo prepovedano uporabljati roke ali druge nečiste predmete, da se dotaknete magnetronskega vira.

3. Naprava ni čista. Čiščenje je treba očistiti.

4. Nepravilen nadzor pogojev procesa brizganja. Prosimo, izboljšajte pogoje procesa brizganja.