Množično merilnik pretoka
D07 - 7KM masa merilnik pretoka uvod množično merilnik pretoka (MFC) je sestavljen iz treh osnovnih naprav: senzor pretoka, pretoka-razdelilniki bypass ter plošča tiskanega vezja, natančno meri masnih pretokov despites prostorninski nihal zaradi temperaturnih sprememb. MFC, se široko uporabljajo na poljih...
- Predstavitev izdelka
Uvod
Množično merilnik pretoka (MFC) je sestavljen iz treh osnovnih naprav: senzor pretoka, pretoka-razdelilniki bypass ter plošča tiskanega vezja, natančno meri masnih pretokov despites prostorninski nihal zaradi temperaturnih sprememb. MFC, se široko uporabljajo na področju polprevodniških in IC izdelavo, posebnih materialov, kemična industrija, petrolic industrija, farmacevtska industrija, varovanje okolja, vakuumskega sistema, raziskovanje, itd.
Tipična vloga
Tipične aplikacije MFC vključujejo mikroelektronskih Procesna oprema, kot so difuzija, oksidacije, epitaxy, CVD, plazma, jedkanje, Rasprašenje, ionska implantacija in drugo polje vakuumsko usedanja oprema, optična vlakna taljenja mikro-reakcija oprema, mešanje & ujemanje plinski sistem, sistem za nadzor kapilarnega pretoka, plinski kromatograf in drugih analitičnih instrumentov.
D07 - 7KM MFC ima prednosti visoko natančnost, dolgo življenjsko dobo, odlično ponovljivost, hiter odziv, soft-start, dobro zanesljivost, široko delovanje področje (dobro delovanje v visok tlak ali vakuum položaj), enostavno in priročno delovanje, itd. To moči obstati umestiti, kjer je to potrebno in povezan z računalnikom za uresničitev avtomatikov.
Specifikacija
Obsegi pretoka | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1, 2, 3, 5, 10) SLM |
Natančnost | ±1.5%F.S |
Linearnost | ±1%F.S |
Ponovljivost | ±0.2%F.S |
Odzivni čas | ≤4 sec |
Temperaturni koeficient | Nič: ≤±0.1%F.S./℃;Span: ≤±0.2%F.S./℃ |
Max pritisk | 3MPa |
Temperatura delovanja | 5℃ ~ 45℃ |
Zatesnitev | Viton, neoprena |
Nastavitev/izhodnega signala | 0V ~ + 5.00V (Vhodna impedanca > 100K, izhod Current≤3ma) |
Napajalnik | + 15V 50mA -15V 50mA |
Električne povezave | D sub 15 zatiči ženski |
Diferenčnega tlaka | < 0,01=""> |
Stopnja uhajanja | 1 × 10-8atm•cc / sec je (1 × 10-9 Pa•m3/sec je) |
Standardni skupno | SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1/8 ", φ4 spojka za cev (notranje) × 1, VCR1/4", Swagelok1/4", φ6 spojka za cev (notranje) × 1 |
Media | Vse plina |
EMI | CE |
Teža | 0.92kg |
Namestitev dimenzije
