Značilnosti PVD Nanocoatings
May 22, 2019| Značilnosti PVD nanokotov
Obstajajo tri osnovne metode fizičnega nanašanja nano-premazov: vakuumsko izhlapevanje, razprševanje in odlaganje ionov. Vakuumsko izhlapevanje pomeni uparjanje izvorne snovi v delce (atome ali ione) s pomočjo elektronskega sevanja, laserskega ogrevanja itd. in jih nato odlagajo na površino obdelovanca, da se oblikuje prevleka. Premaz ima relativno več por, ki ima splošno adhezijo s substratom. Razprševalna prevleka vzame obdelovanec kot anodo in tarčo kot katodo. Argonski ion, ki ga generira argonska ionizacija, se uporablja za izpihovanje ciljnih atomov in njihovo odlaganje na površino obdelovanca. Premaz ima manj por in je dobro povezan s podlago. Ionsko polaganje je material v atome z izhlapevanjem, razprševanjem ali kemičnimi metodami in ionizira s plazmo okoli substrata. Ob delovanju električnega polja se premaz oblikuje z letenjem na substrat z večjo kinetično energijo. Premaz je enakomerno in gosto, v bistvu brez por in dobro združen s podlago.
Nanofilme iz titanovega oksida smo pripravili z razprševanjem dc magnetrona. Tlak v razpršilni komori smo črpali na 1,3-104pa in nato napolnili z Ar, O2 in CF4, skupni tlak je bil 1,3pa (količina injekcije je bila nadzorovana med razprševanjem). Debelina filma poteka pod konstantno napetostjo razprševanja (700 v), da se spremenijo pogoji krmiljenja razprševanja, nadzor temperature osnovne plošče razprševanja v 100 ~ 400 ℃ . Elektrokromne lastnosti so bile ugotovljene v LiC1O4 in propilen karbonatu. Vendar pa je površina filma pod vplivom plina in nabitih delcev, delovanje plasti pa je močno odvisno od stanja plazme, pogojev razprševanja pa ni lahko strogo nadzorovati, kar je tudi njegova največja pomanjkljivost.
Da bi še izboljšali kakovost nanodelovanja, smo razvili različne napredne PVD tehnologije, ki so nastale s kombinacijo različnih tehnologij. Različne tehnike magnetronskega razprševanja so bile razvite z uvedbo magnetnega polja v tehniko razprševanja, kjer prevladuje električno polje. Da bi okrepili kemijski proces nastajanja filma, smo v procesu izhlapevanja, razprševanja in ionske plasti uvedli reaktivni plin, s čimer se je pojavila reaktivna tehnologija izhlapevanja, tehnologija reaktivnega razprševanja in reaktivna ionska prevleka. Poleg tega obstajajo lasersko nanašanje z impulzi (PLD), magnetronsko razprševanje (MSPLD), ionizacijsko magnetno razprševanje (ionizirano magnetno magnetno razprševanje), epitaksija molekularnega snopa (MBE), migracijska rast in druge nove membrane.
Razvidno je, da z razvojem znanosti in tehnologije meja med CVD in PVD ni jasna, oba prežemata in tako obe tehnologiji za pripravo premazov postaneta popolnejša.
IKS PVD coating dekorativni premazni stroj ， stroj za premazovanje orodij ： kontakt: iks.pvd@foxmail.com
