Video dešifrira princip delovanja molekularne črpalke

Video dešifrira princip delovanja molekularne črpalke

https://v.qq.com/x/page/q1346vypd11.html

Kako delujejo molekularne črpalke?

načelo delovanja:

Mehanski mehanizem črpalke se razlikuje od mehanizma mehanske črpalke, ki temelji na spremembi volumna črpalne komore za črpanje zraka.

Molekularno črpalko poganja motor, da se vrti pri visoki hitrosti. V območju molekularnega pretoka se molekuli plina trčijo v površino rezila visoke hitrosti, moment pa se prenaša na molekule plina, tako da se nekatere molekule plina gibljejo v smeri toge površine telesa in jih izženejo iz črpalke , da bi dosegli namen črpanja zraka. Običajno s hitrim premikanjem toge telesne površine, da prevaža molekule plina, in se giblje v določeni smeri pojava, znanega kot pojav molekularnega vleka, pri čemer uporabljamo ta pojav iz vakuumske črpalke, znane kot vlečna molekularna črpalka (gad pump). Prednost vlečne molekularne črpalke je, da je začetni čas kratek, v stanju molekulskega pretoka ima visoko kompresijsko razmerje, lahko odstrani vse vrste plinov in hlapov, še posebej primernih za črpanje težjih plinov. Ker pa je hitrost črpanja vlečne molekulske črpalke majhna, je zapor tesnilnih premajhen, zanesljivost dela je slaba, enostavna za mehanske okvare in težave pri izdelavi se v resnici redko uporabljajo. Pozneje se je vlečna molekulska črpalka izboljšala in pojavila se je turbo molekularna črpalka.

Turbo-molekularna črpalka vsebuje več skupin izmeničnih rotorjev in fiksnih rotorjev rotorjev, na določenem kotu na vsakem rezilu je veliko nagnjenih rezil, kot je prikazano na sl. 1. Dejansko turbo molekularno črpalko sestavlja večstopenjska kaskada, in sicer so sprožilno rezilo, fiksno rezilo in pomično rezilo nameščeni izmenično. Lopatice, ki se premikajo, delujejo kot lopatice električnega ventilatorja, ko se vrtijo in črpajo plin z ene strani na drugo. Povečanje hitrosti molekularne črpalke je koristno pri izboljšanju hitrosti črpanja molekularne črpalke. Če se molekule plina hitreje premikajo, je zaradi omejitve hitrosti rezila težje črpati vakuum.

Vidimo, da je turbo molekularna črpalka tudi neke vrste mehanska vakuumska črpalka. Za črpanje zraka se uporablja kombinacija večstopenjskih vrtljivih večstopenjskih rezil turbinskih in statičnih rezil, kar ustvarja visoko stiskalno razmerje za odvzeti plin v območju molekulskega pretoka, tako da se doseže zahtevana zmogljivost vakuuma. Končni vakuum turbomolekularne črpalke je višji od difuzijske črpalke, do 10 ^ -8pa. Pri normalnem delovanju je potrebna določena stopnja vakuuma sprednje stopnje, ki se nekoliko razlikuje glede na črpalko, običajno od 1 do 200Pa. Mehanska črpalka se lahko uporablja kot prednja črpalka. Visoko vakuumska enota je sestavljena iz molekularne črpalke in mehanske črpalke. Zaradi visoke hitrosti turbo molekularne črpalke jo običajno poganja motor, če pa je frekvenca napajanja med 300-400Hz. Turbomolekularne črpalke so običajno vodno hlajene.

Kombinirana molekularna črpalka je serijska kombinacija turbo molekularne črpalke in vlečne molekularne črpalke, ki združuje prednosti obeh vrst črpalk v eno in je lahko v širokem razponu tlakov od 10 ^ -6-1pa, z večjo hitrostjo črpanja in višje kompresijsko razmerje, kar močno izboljša izstopni tlak črpalke.

  pogoji delovanja :

(1) hitrost rotorja doseže 20000r / min, zato je začetni čas molekularne črpalke sorazmerno dolg.
(2) plin je v stanju molekularnega pretoka, zato ga je treba opremiti s črpalko sprednje stopnje. Na splošno se kot črpalka spredaj uporablja kotna črpalka

Značilnosti molekulske črpalke:

Molekularna črpalka za mazanje z oljem: količina mazalnega olja je majhna, na vakuumskem delu prejšnje stopnje pa je onesnaženost vakuumske komore majhna.
Molekularna črpalka za mazanje z mazivom: količina maščobe je zelo majhna, predstopenjska suha črpalka lahko dobi čisti vakuum skoraj brez olja.
Molekulska črpalka s popolno magnetno suspenzijo: mazanja ni potrebno, lahko se uporablja s suho črpalko, očistite vakuumsko okolje brez olja.

Druge običajne aplikacije:

1. Analiza (masna spektrometrija, elektronski mikroskop itd.)
2. Polprevodniki (elektronske komponente, integrirana vezja, prožne sončne celice itd.)
3. Optika / steklo (toplotna zaščita, odsev, odboj, optični filter)
4. Premaz (zaščita površine, dekorativna barva, zaslon, zaslon)
5. Vakuumska metalurgija (vakuumska peč, vakuumsko spajkanje, vakuumsko sintranje, vakuumska zlitina,)
6. Zaznavanje puščanja (vakuumski sistem, rezervoar za gorivo v vozilu, zračna blazina)
7. Raziskovalni poskusi (medicinsko magnetno resonanco, fizika jedrskih delcev, fuzijske raziskave, laserske aplikacije in še veliko več)
8. Industrija proizvodnje svetilk in z njo povezane industrije

IKS PVD, premazni stroj uporablja turbo molekularno črpalko z magnetno levitacijo. se obrnite z nami, če želite izvedeti več podrobnosti o stroju za vakuumsko premazovanje PVD, iks.pvd @ foxmail.com