različne vrste CVD opreme

Obstaja več vrst CVD opreme. Trenutno je PECVD glavna tehnologija, njen tržni delež pa naj bi se v prihodnosti še povečal. CVD, nova tehnologija, razvita v zadnjih desetletjih za pripravo anorganskih materialov, se nanaša na proces, pri katerem snovi v plinastem ali parnem stanju reagirajo na plinasti fazi ali na meji plina in trdne snovi, da ustvarijo trdne usedline. Kemično naparjevanje (CVD) se pogosto uporablja za čiščenje snovi, razvoj novih kristalov in nanos vseh vrst monokristalnih, polikristalnih ali steklastih anorganskih tankoslojnih materialov. Ti materiali so lahko oksidi, sulfidi, nitridi, karbidi ali binarne ali multivariatne interelementne spojine skupin III-V, II-IV in IV-VI, njihove fizične funkcije pa je mogoče natančno nadzorovati s postopki nanašanja dopinga v plinski fazi. Ponovljivost prevleke CVD in stopenjska pokritost sta dobri in se lahko uporabljata za nanašanje filmov SiO2, Si3N4, PSG, BPSG, TEOS in drugih srednjih filmov, kot tudi za nanašanje filmov polprevodnikov, kovin (W) in vseh vrst kovinsko-organskih spojin. Obstaja veliko vrst KVB, ki jih lahko grobo razdelimo na APCVD, LPCVD, SACVD, PECVD, MOCVD in druge kategorije glede na tlak v komori in zunanjo energijo. Z opremo CVD je enostavno pridobiti reakcijske vire, komponente prevleke so raznolike, oprema pa je razmeroma preprosta, še posebej primerna za površino delov zapletene oblike in prevleko notranjih lukenj.

Podjetje IKS PVD, stroj za dekorativni premaz, stroj za premazovanje orodij, stroj za premazovanje DLC, stroj za optično premazovanje, linija za vakuumsko nanašanje PVD, na voljo je projekt na ključ. Pišite nam zdaj, E-pošta:iks.pvd@foxmail.com