Problem enakomernosti magnetnega brizgalnega filma

Enotnost magnetronskega brizgalnega filma je pomemben indeks, zato je potrebno preučiti vplivne faktorje, ki vplivajo na enakomernost magnetronske brizgane, da bi bolje dosegli enakomerne premaze. Enostavno rečeno, magnetronsko brizganje pomeni, da elektroni sprožijo gibanje okoli ciljne površine pod omejitvijo zaprtega magnetnega polja v ortogonalnem elektromagnetnem polju. Med gibanjem elektroni ohranjajo delovni plin (argon plin), da ionizirajo veliko količino ionov argona. Pod električnim poljem ioni argona hitro bombardirajo cilj, ciljni atomski ioni (ali molekule) pa na podlago tvorijo tanek film.

Zato je za dosego enakomerne oblike potrebno enakomerno razpršiti ione ionov (ali molekul) tarčnega atoma, ki zahtevajo, da ioni argona enakomerno bombardirajo cilj. Ker ioni argona pospešijo bombardiranje cilja pod delovanjem električnega polja, mora biti električno polje enakomerno. Aronovi ioni izhajajo iz elektronov, ki jih veže zaprto magnetno polje, elektroni pa se med gibanjem nenehno udarijo, kar zahteva enotno magnetno polje in enakomerno porazdelitev argona. Vendar pa so v dejanskih magnetronskih brizgalnih napravah ti dejavniki težko popolnoma popolnoma enakomerni, zato je treba preučiti učinek njihove neenakosti na enakomernost oblikovanja filma. Pravzaprav sta enotnost magnetnega polja in enotnost delovnega plina najpomembnejši dejavniki, ki vplivajo na enotnost tvorbe filmov. Veliko magnetno polje pomeni veliko debelino filma in smer magnetnega polja je tudi pomemben dejavnik, ki vpliva na enakomernost. Kar zadeva zračni tlak, ima pod določenim pritiskom film z velikim zračnim tlakom veliko debelino.