Kondenzacijska črpalka je namenjena črpanju za kondenziranje plina na nizkotemperaturni površini za namen črpanja
Mar 10, 2020| 1) Kondenzacijska črpalka se črpa za kondenziranje plina na nizkotemperaturni površini za namen črpanja. Ko je v vakuumski komori hladna površina, se bo na njej pojavila kondenzacija, ki lahko igra vlogo odsesavanja zraka. To je načelo delovanja kriogene kondenzacijske črpalke in kriogene hladne pasti. Tlak nasičenih hlapov je tesno povezan s temperaturo, in ko se temperatura zniža, tlak nasičenih hlapov pade.
Tabela 1 prikazuje standardno sestavo ozračja. Slika 1 prikazuje krivuljo temperaturnega razmerja nasičenih parnih tlakov različnih plinov. Kot je razvidno iz slike 1, ko temperatura pade na 20 K, razen neonskih, vodikovih, helijevih in drugih težko kondenzirajočih plinov, je nasičen parni tlak vseh drugih komponent v zraku nižji od 10-10 torr. Tako, ko se nepredušna posoda, napolnjena z zrakom, ohladi na 20 K, lahko vakuum doseže 1,2E-3 torr. Pri 4,2 k ostane samo helij, vakuum pa do 5e-5torr. Hladno površino kondenzacijske črpalke lahko na splošno izberemo pri približno 14-20 k, metoda izpiranja z lahkim kondenzacijskim plinom ali sesanje z drugimi črpalkami pa je sprejeta za močno zmanjšanje količine vodika, helija in drugih težkih kondenzacijskih plinov v črpanih sistem. Majhna količina težko kondenzacijskega plina, ki med delovanjem uhaja v sistem, lahko odstrani tudi druge črpalke.

[tabela 1] standardna sestava zraka

[Sl. 1] temperaturno razmerje nasičenih parnih tlakov različnih plinov
IKS PVD, smo proizvajalec stroja za vakuumsko premazovanje iz Kitajske, več podrobnosti, kontakt: iks.pvd@foxmail.com



