Tehnični postopek diamantnega ogljika (DLC) površinski premaz tehnologije

DLC (diamantnega ogljika) premaz je strokovno tehnologija, ki se uporabljajo na področju die rezalnih orodij. Industrijska proizvodnja DLC obloga začela konec prejšnjega stoletja, v primerjavi s težko premaze za mold (na primer kositra, TiAlN, CrN, TiCN, itd), to je novo tehnologijo za prevleko. V polprevodniških embalaže, pin, rezanje in oblikovanje procesa, visoka natančnost plesen je ključnega pomena za zagotavljanje kakovosti proizvodov in kakovost površine plesni tudi določa kakovost proizvoda, učinkovitosti proizvodnje in električno učinkovitost izdelka. Zato plesni, pri polprevodniških pakirno industrijo zahteva visoko natančnost, ampak tudi razvoj die rob deli na površini z nizko trenje dejavnik in visoko trdoto in je obloga z plazma tehnologijo za prevleko DLC je Glavna rešitev za ta problem.

DLC obdelave vključuje obdelavo (poliranje, čiščenje) obdelovanca obdelati podlago, izbor ciljnih, nastavitev tvori procesnih pogojev, oblikovanje in post-ki pregled.

Da bi dobili visoke kakovosti DLC obloga, kakovost obdelovanca substrata je zelo pomembno. Obdelovanec spoliramo manjši od Ra0.2um, in po premaz, obdelovanca dobijo zadovoljivo kakovost površine, kar je zelo pomembno za oblikovanje nekaterih delov z optično zmogljivost zahteve.

Obdelovanca biti prevlečene mora biti povsem očistiti in čiščenja je odvisna od kakovosti premaz, substrata in geometrijske oblike. Obdelovanec je nameščena na nastavi stalnica, ki je zasnovan na podlagi z optimiziranjem velikosti votlino nakladanja in zagotavljanje enotnosti premaza. Vakuumsko komoro sprazni do 10-6 Torr (visokem vakuumu) za odpravo vseh onesnaževal v sistemu, in inertnega plina, se doda v vakuumsko komoro in ionizira, za proizvodnjo razrešnico sijaj (plazma). To je faza za čiščenje plinov in pripravlja del prvotnega pričanja kovin.

Vrhoven-tok, nizkonapetostnih loke naložijo na cilj, kovine je izhlapel in trenutku ioniziran, in teh kovinskih ionov vstop komore prek inertnega plina ali reaktivni plina pod veliko energije, in nato oborino na obdelovanec. V postopku nanašanja obsega ali vrste plina bo spremenite lastnosti filma. Tabela 1 prikazuje proces parametrov za drugačen film plasti.

Po dokončanju premaz, kakovost film po oblikovanju obdelovanca mora meriti, vključno z sijaja obdelovanca, ali debelino filma je enotna in znaša v območje nadzora in ali film je večplastna.

Če sijaja film po je neenakomerna in obstaja vzorec, lahko da čistost cilj ni dovolj in vsebuje več nečistoč. Druga možnost je, da opremo za premazovanje je problem, ni ne stabilen proces okolju. V tem primeru najprej je preveriti ali opreme je problem, če ne, cilj je treba zamenjati. Stabilna oprema se debelina filma odvisna tvori čas izdelave.

Najbolj pogosti in težko problem treba rešiti je, da oprijem med film in obdelovanca ni močna, in se pojavi razslojevanju pojav. Obstaja veliko razlogov za ta problem. Glavni razlog je obdelovanec ne očistiti, čisto in temeljito, in obdelovanca je poliran z zahtevami procesa ali obstajajo pomanjkljivosti, ki tvori procesnih parametrov niso razumni. Da bi rešili problem razslojevanju med podlago in film, včasih potrebno predobdelati obdelovanca z prevleke obdelovanca s plastjo kovine, vnaprej, da odpravi napako substrata.

Vrsta in postopek parametrov film plasti