Predstavitev delovanja metode vakuumski nanos stroj

Vakuumski nanos stroj je premaz instrument, ki potrebuje za delovanje pri višji vakuumu. Razdeljen je na dve vrsti izhlapevanje in Rasprašenje.

Izhlapevanje prevleke je na splošno ogrevanje cilj materiala, ki povzroča površinske komponente ciljni material za izhlapel z atomsko ali ionski obliki in nanesejo na površini substrata, ki so tanke plasti v procesu film oblikovanje.

Rasprašenje premaz lahko preprosto razumeti kot uporabo elektronov ali visoke energetske laser za obstreljevanje cilj in površinske komponente cilja Rasprašenje v obliki atomov ali ionov, in sčasoma deponirajo na površini substrata, ki so tanke plasti v procesu nastajanja filma.

Sledite korakom:

1. delovanje metoda elektromehanske nadzor kabineta za vakuumski nanos

(1) odprta črpalke in zrak vir vode.

(2) pa na glavni moč.

(3) odpreti napajalnik gospodarstvu črpalke in vakuumsko meter, merilnik podtlaka položaj položaj V1, čakati na njegovo vrednost manj kot 10, in nato vnesite naslednji operaciji. Verjetno potrebuje pet minut.

(4) pa na mehanske črpalke, opravljajo vnaprej črpanje, odprite turbo molekularne črpalke napajalnik in začnite molekularne črpalke. Stikalom merilnik podtlaka se spremeni položaj V2. Po vakuumski stopnjo se črpa za manj kot 2, ustavi črpanje, in traja 20 minut.

(5) ko odčitki turbine molekularne črpalke so opazili, da doseže 250, pre črpanjem je zaprta, odprite podporo črpalke in visoko vakuumsko ventili še za evakuacijo. Šele, ko vakuum doseže 2 × 10-3, lahko vključite napajanje elektronskih pištolo.

2. delovanje vakuumske stroja

(1) vklopite glavno moč.

(2) hkrati odprete elektronski pištolo nadzora I in II napajanje: po elektronski pištolo nadzora, I moč, zamude stikalo, in nato takoj svetlobe, moč svetilke in zaščite luči, luči up. Po tri-minutni zamude svetlobe in zaščite svetilka izklopite. Če zadnja vrata niso zaprta ali pretok rele je nepopoln, varstvo svetlobe bo vedno na.

(3) odprite visok pritisk, visok pritisk bo doseči več kot 10KV, pramena da o 200mA, mreži ščit je 20V / 100mA, filamentov sedanje 1.2A, trenutno deformacijo swing 1 ~ 1,7.

3. zaustavitev zaporedje vakuumski nanos stroj

(1) izklop merilnik obleko in molekularne črpalke.

(2) ko molekularne črpalke prikazuje do 50, visoko vakuumski ventil, podporo črpalko in mehanske črpalke so zaprti v zaporedju. Verjetno potrebuje 40 minut.

(3) ko molekularne črpalke kaže manj kot 50, blizu gospodarstvu črpalko.