Dejavniki neenakomernega tanekega filmskega vzroka z magnetnim brizgalnim vakuumskim premazom

Dejavniki neenakomerne filmske plasti, ki jih povzročajo vakuumski premazi z magnetronskimi brizgami, vključujejo tri vidike: stanje vakuuma, magnetno polje in plin argona.

Delovno načelo magnetronskega brizgalnega vakuumskega premaznega stroja je, da pod vakuumskim stanjem tvori elektron pravokotnega magnetnega polja, da bombardira argon in tvori ion argona, nato pa bombardiranje ciljnega materiala, tako da se lahko ciljni ion deponira na površina obdelovanca za tanek film.

Stanje vakuuma potrebuje za krmiljenje črpalnega sistema, pri čemer mora biti vsak odsek hkrati aktiviran in dosleden. Če črpanje ni enotno, bo tlak znotraj vakuumske komore neenakomeren. Tlak ima določen vpliv na gibanje iona. Poleg tega je treba čas črpanja nadzorovati. Premalo bo povzročilo premajhen vakuum, vendar je predolgo in zapravljanje virov.

Magnetno polje deluje ortogonalno, vendar je nemogoče povečati intenziteto magnetnega polja 100%. Kjer je splošno magnetno polje močno, je debelina filma velika, vendar je majhna nasprotno, zato bo povzročila neskladje debeline filma. Vendar pa v proizvodnem procesu neenakost filma zaradi neenotnosti magnetnega polja ni pogosta.

Enotnost plina Argon vpliva tudi na enakomernost filma, princip pa je podoben vakuumu. Ker argon vstopi v vakuumsko komoro, se bo tlak znotraj komore spremenil. Enotni tlak lahko uravnava enakomernost debeline filma magnetronskega brizgalnega vakuumskega premaza.

Več kot desetletje IKS, specializirano za izdelavo vseh vrst vakuumskih premazov, ki se ukvarjajo z raziskavami in razvojem ter izdelavo vakuumske prevleke, z najnovejšo tehnologijo nenehno proizvajajo potrebe po opremi vakuumskih premazov, ki strankam zagotavljajo prilagojene tehnološke rešitve in opremo.