Eksperimentalni materiali in metode za učinek tokovnega toka iz luka na strukturo pločevine
Jun 22, 2018| V tem članku so TiN tanke plasti nanosile na substrat iz nerjavečega jekla in Si rezilo z multi-arc ionskim premazom. Učinek obremenjevanja toka na strukturo in tribološke lastnosti tankih filmov TiN smo proučili iz principa večplastnega ionskega platinga.
Eksperimentalni materiali in metode
Material podlage je iz nerjavečega jekla (1Cr18Ni9Ti) 20 mm × 20 mm × 2 mm, pri čemer so ti Si vaflji. Priprava filma je bila izvedena na multi-arc ionskem premazu. Vzorec je bil mehansko poliran, alkalijsko opran, ultrazvočno očiščen v alkoholu in nazadnje popolnoma posušen v čisto komoro za prevleke. Pred nanosom prevleke smo substrat očistili z Ar + jedkanjem 5 min. Hitrost pretoka argonovega plina med premazom je bila nič in fiksni pretok N2 je bil 0,22 SLM / s. Specifični procesni parametri so navedeni v tabeli 1.
Tabela.1 Parametri procesa taljenja filma TiN
| Izvor toka (A) | Tlak (x10 -1 Pa) | Temperatura žolčnika (℃) |
| 40 | 4.8 | 290 |
| 50 | 4.5 | 306 |
| 60 | 4.3 | 326 |
| 70 | 3.3 | 345 |
| 80 | 2.4 | 30 |
| 90 | 1.3 | 398 |
| 100 | 1.0 | 402 |
Morfologija površja in morfologija površine preloma filma sta bila opazovana z elektronsko mikroskopijo (FE-SEM). Trdoto filma TiN smo izmerili s testerjem za mikrotrdnost, pri čemer je obremenitev 25 g, čas nalaganja pa je 10 s. Koeficient trenja filma je bil izmerjen s samonastavljenim laboratorijskim aparatom. Vzorec filma TiN je kombiniran z jeklom A3, da se tvori par tornih parov. Med preskusom je zgornji vzorec fiksiran, jeklena plošča A3 se vrti v suhem trenju, vrtilna frekvenca je 0,87 / min, eksperimentalna obremenitev pa je 1N.