Difuzijska črpalka

Difuzijska črpalka

   Kot vsi vemo, je oljna difuzijska črpalka vrsta črpalke, ki se pogosto uporablja v visoko vakuumskem sistemu. Vprašanje je torej, kakšne so metode? Metode so naslednje: najprej ima velik vpliv izbira olja difuzijske črpalke na mejni tlak difuzijske črpalke velik vpliv. Če ne. Uporablja se 3 olje difuzijske črpalke, končni tlak lahko doseže le 10-5pa; Pri uporabi 275 silikonskega olja lahko končni tlak doseže 10-7pa, končni tlak pa se lahko poveča za 2 reda. Drugič, parcialni tlak črpanega plina se spreminja tudi z razliko črpalnega olja, kar je vpliv sestave črpalnega olja. Zato je treba izbrati oljno difuzijsko črpalko z dobrimi zmogljivostmi, da dobite ultra visok vakuum. Ker je olje difuzijske črpalke tako pomembno, kako naj izberemo? Zahteve olja za difuzijsko črpalko so: velika molekulska masa črpalnega olja mora biti velika, parni tlak sobne temperature naj bo nizek, toplotna stabilnost in oksidacijska odpornost dobra, ledišče in nizkotemperaturna viskoznost nizka, netoksična, korozijska odpornost, stroški nizki. Visoko vakuumska difuzijska črpalka na splošno UPORABA št. 3 difuzijsko črpalno olje, ultra visoko vakuumsko USES silikonsko olje, zahteva ultra visok vakuumski sistem brez ogljikovodikov, difuzijska črpalka UPORABLJA fluoro olje. Drugič, uporaba smiselne tehnologije pečenja črpalka olja za pridobitev ultra visoko vakuumskega sistema je treba izvajati visokotemperaturne peke, namen je zmanjšati hitrost materiala. Materiali v atmosferi lahko absorbirajo in absorbirajo nekaj plina, ko v vakuumu povzroči desorpcijo, plin se počasi sprošča, da bi s peko pospešil desorpcijo.                         

Pečemo? Sliši se preprosto, kajne? Ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne. Načelo višje temperature je boljše, lahko pospeši zrak, pa tudi razmisli, ali material lahko prenese visoko temperaturo. Pečemo na pravi temperaturi. Običajno kovinski materiali, kot so nerjaveče jeklo, temperatura pečenja 250 ℃ - 450C; Temperatura pečenja nekovinskih materialov je 80 ℃ - 100 ℃ . Čas peke nad 4h - 8h. Čas pečenja izjemno visokega vakuuma je več kot 24h. Delovanje tipičnega sistema za difuzijo kovinskega olja (po pečenju) in preostalih sestavnih delov plina v ultra visoko vakuumskem sistemu difuzijske črpalke s kovinskim oljem. Tretjič, dodajte hladilno lovilno napravo, da preprečite povratni tok črpalnega olja in pretočite črpalno olje skozi vstopni pretok črpalke na pojav črpane posode, ki se imenuje povratni tok. Pojav molekul olja, ki se gibljejo vzdolž stene v črpano posodo, imenujemo obratna migracija. Tako povratni tok kot povratna migracija vplivata na končni tlak vakuumskega sistema. Hladna loputa se pogosto uporablja v ultra visokem vakuumskem sistemu, nameščena je med dovodom črpalke in vakuumsko komoro, ne le da lahko učinkovito zajame povratni pretok pare difuzijske črpalke in delno razcepljeno raztopino, ampak tudi odstrani paro iz vakuumska komora. Ultra visok vakuumski sistem z različnimi pastmi. Po visokem temperaturnem pečenju in razplinjevanju lahko dobite ultra visok vakuum od 10-8pa do 10-10pa (ali višjega). Pogosto uporabljena hladna lovilna kapljica je hladna kapljevina s tekočim dušikom, saj je pri temperaturi tekočega dušika parni tlak črpalnega olja precej nižji od potreb po ultra visokem vakuumu. Zasnova pasti s tekočim dušikom mora zagotavljati, da bodo molekule, ki gredo skozi lovilnik, ustrezale hladni površini, struktura pa mora biti razumna. Po namestitvi hladilne lopute s tekočim dušikom se hitrost črpanja oljne črpalke za olje zmanjša za največ 40%.

Zmanjšanje obratne difuzije črpanega plina je eden od dejavnikov, ki difuzijsko črpalko omejujejo, da doseže ultra visok vakuum. Protidifuzija plina je povezana z molekulsko maso. Manjša kot je masa, lažja je anti-difuzija. Obstajata dve metodi za preprečevanje povratne difuzije vodika v difuzijski črpalki: najprej zmanjšajte tlak izpušnih plinov na iztoku difuzijske črpalke, pri čemer uporabite dve difuzijski črpalki v seriji; Drugi način je, da na dovodno cev difuzijske črpalke namestite pastir za sublimacijo titana s tekočim dušikom, da ujamete proti difuzijski vodik.

IKS PVD Technology (Shenyang) Co, Ltd, proizvajalec strojev za vakuumsko oblaganje PVD iz Kitajske, glavni izdelek

vsebuje: stroj za dekorativno nanašanje, stroj za nanašanje orodij, stroj za optično nanašanje, PVD prevlečna linija. Pišite nam zdaj.E-pošta: iks.pvd@foxmail.com