Kombinirani sistem ultravisokega vakuuma, ionska črpalka za razprševanje - črpalka za sublimacijo titana

Kombinirani sistem ultravisokega vakuuma, ionska črpalka za razprševanje - črpalka za sublimacijo titana

Slika 5-17 Kombinirani sistem ultravisokega vakuuma: 1- vakuumska komora 2- Zaporni ventil ultravisokega vakuuma 3- Ionska črpalka za razprševanje – skupina črpalk za sublimacijo titana 4- Ultra -visok vakuumski zaporni ventil 5- hladna past 6- difuzijska črpalka 7- sprednji cevovodni ventil 8- ultravisok vakuumski cevovodni ventil 9- odzračevalni ventil 10- mehanska vakuumska črpalka

Slika 5-17 prikazuje drugo vrsto kombiniranega ultravisokega vakuumskega sistema. Sistem je primeren za peči za vakuumsko zapiranje, peči za tantalovo pločevino in drugo opremo. Glavna črpalka sistema je skupina črpalk za ionsko razprševanje in črpalko za sublimacijo titana. Mejni vakuum vakuumske komore lahko doseže 5×10-7Pa. Sistem je opremljen z enoto, sestavljeno iz oljne difuzijske črpalke in mehanske črpalke, ki se uporablja za grobo črpanje in predčrpanje kot glavna črpalka in lahko črpa velike količine, sproščene med postopkom.

Podjetje IKS PVD, stroj za dekorativni premaz, stroj za premazovanje orodij, stroj za premazovanje DLC, stroj za optično premazovanje, linija za vakuumsko nanašanje PVD, na voljo je projekt na ključ. Pišite nam zdaj, e-pošta: iks.pvd@foxmail.com