Kombinirani ultra visoki vakuumski sistem
Aug 30, 2021| Kombinirani ultra visoki vakuumski sistem
Za nekatere vakuumske sisteme s posebnimi zahtevami, kot so tisti, ki zahtevajo ultra visok vakuum ali ultra visok vakuum brez olja, hkrati pa izpolnjujejo potrebe grobega črpanja in se lahko spopadejo z veliko količino plina, ki se sprosti med postopkom, kombinirani sistem se lahko uporablja za izpolnjevanje zahtev. Sl. 1 prikazuje shematski diagram vakuumskega sistema stroja za premazovanje ultra visokega vakuuma brez olja. Glavna črpalka je ionska črpalka za razprševanje, ki je opremljena s sublimacijsko črpalko iz titana za izboljšanje stopnje vakuuma in odvajanje velike količine plina, ki nastaja pri izhlapevanju materialov. Končni vakuum lahko doseže 6,67 × 10-7Pa. Črpalka za predhodno črpanje z glavno črpalko z molekularnim sitom. Poleg tega je sistem opremljen tudi z adsorpcijsko pastjo - mehanskim črpalnim sistemom za črpanje surove črpalke, ko je tlak večji od 1333Pa, mehanska črpalka ni enostavna za vračanje olja, mehanska črpalka neposredno sesa vakuumsko komoro, ko tlak vakuumska komora je nižja od 1333Pa, mehanska črpalka skozi adsorpcijsko past 9 iz obvodne vakuumske komore.
1. Vakuumska komora 2. Izjemno visok vakuumski zaporni ventil 3. Razpršena ionska črpalka 4. Sublimacijska črpalka iz titana 5. Izjemno visok vakuumski ventil6. Sprostitveni ventil 7. Visoko vakuumski ventil 8. Molekularna sito črpalka 9. Adsorpcijska past 10. Mehanska črpalka
Sl. 1 Shematski diagram vakuumskega sistema stroja za premazovanje ultra visokega vakuuma brez olja
Podjetje IKS PVD, stroj za dekorativno premazovanje, stroj za premazovanje orodij, stroj za optično premazovanje, linija za vakuumsko premazovanje PVD, je na voljo projekt na ključ.Pišite nam zdaj, e-pošta:iks.pvd@foxmail.com